鹵素檢漏儀(SF6檢漏儀)是指用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)氣體作為示漏氣體的檢漏儀器。該類儀器分兩類:其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內(nèi)探頭式)鹵素檢漏儀;其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。鹵素檢漏儀示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等,其中氟里昂屬Z好。鹵素檢漏儀靈敏度可達(dá)3.2×lO-9Pam3/s。
鹵素檢漏儀檢測原理
傳感器是個二極管,加熱絲、陰極(外筒)、陽極(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子,被陰極接收的離子流由檢流計(或放大器)指示出來,且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。金屬鉑在800~900oC溫度下會發(fā)生正離子發(fā)射,當(dāng)遇到鹵素氣體時,這種發(fā)射會急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應(yīng)”,利用此效應(yīng)制成了鹵素檢漏儀。
鹵素檢漏儀使用方法
靈敏度、反應(yīng)時間及恢復(fù)時間是鹵素檢漏儀的主要性能參數(shù)。其使用方法與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同,這里不再贅述。但是,鹵素檢漏儀(SF6檢漏儀)的指示與鹵素氣體的濃度有關(guān):一般,低濃度的指示是線性的,中等濃度的是非線性的,而當(dāng)濃度很高時儀器出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進(jìn)行性能測試或檢漏時,進(jìn)入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應(yīng)和lO-1~10oPa壓力范圍內(nèi)工作,壓力過高或過低都會導(dǎo)致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀(SF6檢漏儀)的傳感器基本上是在大氣壓下工作的,靠吸氣裝置吸入氣體,使鹵素氣體流經(jīng)傳感器。
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